黃光&橘光玻璃
黃光&橘光玻璃
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黃光室是進行IC晶片微影成像術的區域,將光阻材料利用旋鍍法(spin coating)披覆在晶圓上,而後再放置於曝光機下進行曝光,以使紫外光源透過光罩照射於光阻而得到感光圖像,最後再以藥劑進行顯影而得到實際圖像。

早期曝光機的光源為全光譜光源,後演進到G-line(436nm)光源,目前最廣泛使用的為I-line(365nm)光源,對於0.3μm線寬以下的IC製程,則須採用深紫外線(deep UV)248nm光源,甚至X-光或電子束。目前光源較常採用高壓水銀(汞)弧燈,由於其特性頻譜如下圖所示,所以須經濾光片以獲得所需的I-line(365nm)光線。
 
 
為了避免光阻在曝光前、曝光後受到曝光機以外的光線照射而曝光,所以整個作業必須在黃光室下進行,換言之,所有照明用的光源必須加以過濾,照明燈底罩及各式隔間門及窗皆應具有過濾波長大於380nm紫外光的能力。但必須注意的一點,有些黃色透明板雖具有黃光但對於紫外光卻未完全隔絕,嚴格來說,這是不合格的產品。例如下圖為常被用於黃光室的5mm黃色壓克力透明板,在I-line(365nm)波長附近卻有不少的穿透率。
 
 
優麗雅黃光玻璃是一種讓玻璃本體表層自然發色的技術,不但耐刮、耐磨、不燃,而且能達成隔絕紫外線的標準,其穿透頻譜如下圖所示。
 
 
此外,優麗雅黃光玻璃可兼具抗靜電及防爆的功能,可依客戶需求作成單面抗靜電或雙面抗靜電的黃光玻璃,以符合最新等級無塵室之要求。
 
本公司黃光玻璃有下列規格;並可製作抗靜電,目前已廣泛用於國內外高科技廠之黃光室
膠合 強化膠合
鋼絲強化膠合 複層
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