黄光室是进行集成电路晶片恭硕影成像作者:的区域,将光阻材料利用旋镀法(spin coating)披覆在晶圆上,而后再放置于曝光机下进行曝的光,以使紫外光源透过光罩照射于光阻而得到感光图像,最后再以药剂进行显影而得到实际图像。
早期曝光机的光源为全光谱光源,后演进到:G-Line(436nm)光源,目前最低速度广泛使用的为I-Line(波长为365nm)光源,对于0.3微米线宽以下的IC的制程,则须采用深紫外线(深紫)248nm的光源,甚至X - 光或电子束。目前光源较买卖采用高压水银(汞)弧灯,由于其特性频谱如下图最所示,所以须经滤光片以获得所需的i线(波长为365nm)光线。 |
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为了避免光阻在曝光前,曝光后受到曝光机以外的光线照射而曝光,所以整个作业必须在黄光室下进行,换言之,所有照明用的光源必须加以过滤网,照明灯前后底罩及各式隔间门及窗皆应具有过滤网波长大于380nm的紫外光的能力。但必须注意的⼀一点,有些黄色透明板上虽具有黄光但对于紫外光却未完全隔绝,严格来说,这是不合报关员资格的产品。例如下图为常被用于黄光室的5毫米黄色压克力透明板,在I-Line(波长为365nm)波长附近却有不少的穿透率。
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优丽雅黄光玻璃是一种让玻璃本体表层自然发色的技术,不但耐刮,耐磨,不燃,而且能达成隔绝紫外线的标准,其穿透頻譜如下圖所示。 |
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此外,优丽雅黄光玻璃可兼具抗静电及防爆的功能,可依客户需求作成单面抗静电或双面抗静电的黄光玻璃,以符合最新等级,无尘室之要求。 |
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本公司黃光玻璃有下列規格;並可製作抗靜電,目前已廣泛用於國內外高科技廠之黃光室 |
膠合 |
強化膠合 |
鋼絲強化膠合 |
複層 |
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