黄光室是进行集成电路晶片恭硕影成像作者：的区域，将光阻材料利用旋镀法（spin coating）披覆在晶圆上，而后再放置于曝光机下进行曝的光，以使紫外光源透过光罩照射于光阻而得到感光图像，最后再以药剂进行显影而得到实际图像。
早期曝光机的光源为全光谱光源，后演进到：G-Line（436nm）光源，目前最低速度广泛使用的为I-Line（波长为365nm）光源，对于0.3微米线宽以下的IC的制程，则须采用深紫外线（深紫）248nm的光源，甚至X - 光或电子束。目前光源较买卖采用高压水银（汞）弧灯，由于其特性频谱如下图最所示，所以须经滤光片以获得所需的i线（波长为365nm）光线。 |
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为了避免光阻在曝光前，曝光后受到曝光机以外的光线照射而曝光，所以整个作业必须在黄光室下进行，换言之，所有照明用的光源必须加以过滤网，照明灯前后底罩及各式隔间门及窗皆应具有过滤网波长大于380nm的紫外光的能力。但必须注意的⼀一点，有些黄色透明板上虽具有黄光但对于紫外光却未完全隔绝，严格来说，这是不合报关员资格的产品。例如下图为常被用于黄光室的5毫米黄色压克力透明板，在I-Line（波长为365nm）波长附近却有不少的穿透率。
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| 优丽雅黄光玻璃是一种让玻璃本体表层自然发色的技术，不但耐刮，耐磨，不燃，而且能达成隔绝紫外线的标准，其穿透頻譜如下圖所示。 |
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| 此外，优丽雅黄光玻璃可兼具抗静电及防爆的功能，可依客户需求作成单面抗静电或双面抗静电的黄光玻璃，以符合最新等级，无尘室之要求。 |
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| 本公司黃光玻璃有下列規格；並可製作抗靜電，目前已廣泛用於國內外高科技廠之黃光室 |
| 膠合 |
強化膠合 |
| 鋼絲強化膠合 |
複層 |
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